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在电子和半导体制造领域，污染可能影响设备精度、操作再现性和设备的使用寿命。当用于真空泵和洁净室内时，高性能润滑剂有助于减少在制造电子及半导体的空间内产生的污染物和挥发性气体。从而提高产量，同时延长设备的使用寿命。由于活性化学品和物质本身就是半导体和电子元器件的安全隐患，因此，使用不能与这些半导体或电子元器件相容的润滑剂便会损坏组件。
Krytox™ 高性能润滑剂具有化学惰性和生物惰性，因而可以与氧气相容，并且几乎与所有化学品、塑料、金属和弹性体均不会发生反应.
以下是推荐的部分润滑脂型号：
型号 | 温度（℃） | 粘度(20℃） | NLGI等级 | 特性 | 应用 |
Krytox GPL1514 | -15 - 300 | 140 | 2 | 不易燃；非反应性；可安全用于氧气系统 | 真空泵 |
MULTEMP ET-K | -40 - 200 | / | `1-2 | MULTEMP ET-K是以具有耐高温特性的聚服为稠化剂，配合聚苯醚类合成油和多元醇酷类合成油炼制而成的高温中速长寿命特种润滑脂。具有优异的低温性、耐高温性、抗轴承剥落和抗放射线辑射性 | 工业设备耐高温轴承和医疗器械、X光行李安检机等暴露于放射线辑射的设备润滑部位 |
MULTEMP SRL | -50 - 150 | / | 3 | MULTEMP SRL是由在高温下表现稳定的特殊合成油和特制的理皂和经过严格挑选的抗氧化剂及防锈剂等经过特殊工艺研制而成的低噪音长寿命润滑脂。具有良好的低噪音性、优异的低温性、防锈性、使用温度宽、润滑高温长寿命等特点。 | 宽温低噪音长寿命电机轴承 |
Krytox GPL1514 | -15 - 300 | 140 | 2 | 不易燃；非反应性；可安全用于氧气系统 | 真空泵 |